
半导体行业会供应特种气体,如超高纯硅烷SiH4、磷烷PH3股票配资大盘,砷烷AsH3、乙硼烷B2H6、六氟化钨WF6、氯气CL2、高纯氨NH3等特气(高纯氨在供应过程中需要大量吸热,需要权衡双套管的做法)
这些气体具有剧毒性,自然性,高反应性。如PH3剧毒易燃化学品。
因这些气体的特殊性,在供应这些气体时,会使用双套管。
什么是双套管?供应管路分为内管和外管,其中内管供应,外管保护,相当于内管穿上了一套金属铠甲。内管使用SS316LEP,外管使用SS304BA或SS316BA。(外管也可使用AP管道,降低成本)
设计目的:1.外管有抗击打能力,保护内管 2.内管被气体腐蚀破坏,气体会泄露到外管内,不至于扩散到空气中,危害人员安全。
问题来了,内管和外管之间抽负压好还是填充氮气好呢?我们列表对比一下
设计方式优点缺点负压设计灵敏度高
若泄露,不会影响制程
需要抽真空
若泄漏,易造成外管腐蚀
正压设计PN2保压方便
若泄漏,不易造成外管腐蚀
1.灵敏度较差2.若泄露,会污染制程结论:安全和制程角度,使用负压设计更优,不推荐使用正压设计。
问题:针对整套双套管系统,还有哪些好的设计呢?还有哪些特气会使用到双套管?
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